流量傳感器想必大家都知道它分為檢測(cè)液體流量、氣體流量，以下我們來(lái)談下空氣流量傳感器：
MEMS氣體質(zhì)量bai流量計(jì)采用具有自主知識(shí)產(chǎn)du權(quán)的zhiMEMS芯片作為傳感器核心部件，當(dāng)沒(méi)有氣體介質(zhì)dao流過(guò)傳感器芯片時(shí)，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場(chǎng)（溫度分布）,當(dāng)氣體介質(zhì)流過(guò)傳感器芯片時(shí)，溫度場(chǎng)因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重新分布。局部溫度場(chǎng)的變化量取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對(duì)此溫度分布進(jìn)行測(cè)量，通過(guò)校準(zhǔn)，專門(mén)設(shè)計(jì)的信號(hào)處理電路和智能控制軟件可精確測(cè)量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流量.
以下我們來(lái)看下歐姆龍流量傳感器的結(jié)構(gòu)：
歐姆龍MEMS氣體流量傳感器特點(diǎn)：
1、高精度測(cè)量微流量
采用溫差檢測(cè)方式，實(shí)現(xiàn)±3% F.S.的高精度傳感
2、溫度特性 實(shí)現(xiàn) ±3% F.S.
溫度的影響小，無(wú)需進(jìn)行溫度補(bǔ)償即可測(cè)量質(zhì)量流量
3、可優(yōu)化質(zhì)量流量的高速響應(yīng)性
實(shí)現(xiàn)了高速響應(yīng)性，輸出達(dá)到 ±3% F.S 只需20ms
優(yōu)化空燃比并提高了測(cè)量可靠性
4、應(yīng)用廣泛的低功耗
熱電堆為熱電動(dòng)勢(shì)輸出方式，功耗低于電阻式
